用於表面粗糙度和表面形貌的量測,比使用探針是台階儀或原子力顯微鏡(AFM)成本更低2~3倍,利用垂直掃描干涉(VSI),其性可達50奈米的垂直解析度,如多加相移干涉(PSI)的功能,更可達1奈米的高解析度。其軟體功能包括表面粗糙度、形貌和台階高度的量測,在數秒內,即可獲得平面和曲面表面上量測的粗糙度參數。也可以選擇拼接功能來組合多個影像,以提供大面積量測。